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美国OAI INSTRUMENTS曝光机
中国工业品网价格：1200.00元
商品属性：
- 曝光均匀性：优于±3%
- 接近式：3.0um
- 真空接触：0.5-0.8um
- 硬接触：0.8-1.0um
- 更新：2021-11-29
- 对准精度：顶面0.5um/底面1.0um(选件)
- 范围：美国oai instruments曝光机/oai instruments光刻机/oai instruments光源/oai
- 光刻方式：接近式/软/硬/真空接触式
- 间隙调节步进：1um
- 曝光距离：0-3000μm
价格趋势
该商城历史价格
当前商城现价1200.00元
历史最低价1200.00元（2026-03-12）
历史最高价1200.00元（2026-03-12）
详细参数
- 曝光均匀性优于±3%
- 接近式3.0um
- 真空接触0.5-0.8um
- 硬接触0.8-1.0um
- 更新2021-11-29
- 对准精度顶面0.5um/底面1.0um(选件)
- 范围美国oai instruments曝光机/oai instruments光刻机/oai instruments光源/oai
- 光刻方式接近式/软/硬/真空接触式
- 间隙调节步进1um
- 曝光距离0-3000μm
- 机械精度1.5um
- 软接触1.0-3.0um
- 光刻精度软接触2um/硬接触小于1um
- 基底尺寸2-12寸晶圆或者最大200mm方形