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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用(第2版)
中教图书价格：89.40元
商品属性：
- 出版日期：2023/1/1
- 版次：第2版
- 页码：436
- 出版社：清华大学
- 丛书名：高端集成电路制造工艺丛书
- 作者：张海洋等
- 中图法分类：tn405.98
- isbn：9787302614395
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详细参数
- 出版日期2023/1/1
- 版次第2版
- 页码436
- 出版社清华大学
- 丛书名高端集成电路制造工艺丛书
- 作者张海洋等
- 中图法分类tn405.98
- isbn9787302614395